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MOCVD碳盘 
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               碳化硅石墨基座

SiC涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高、和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较,高纯石墨在400℃开始发生强烈氧化,即使温度不高,长期应用也因氧化而掉粉末,会依附工件和台面或污染使用环境,因此SiC涂层石墨基座作为一种新耗材在MOCVD设备、粉末烧结等工序上逐步代替了高纯石墨基座。

本公司生产的SiC涂层石墨基座等产品涂层是在高温条件下,使特种气体释放出硅和碳,硅和碳结合,从而将特定形状石墨基体包裹起来,形成SiC保护层,所形成的SiC牢牢的巴结在石墨基体上,赋予石墨基体特殊的性能,从而使石墨基座表面致密,无孔隙、耐高温、抗溶蚀、抗氧化